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INTRODUCTION TO MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS

ECE 542
과목 설명

Introduction to MEMS technology, devices and systems. Fundamentals of MEMS in fabrication, process integration, material mechanics of MEMS structures, sensors and actuators. Main topics in MEMS - microfluidics, optical MEMS, RF MEMS, BioMEMS, packaging, and CAD.

선수과목

(ECE 335 or ECE 340 ), graduate/professional standing, or member of Engineering Guest Students

충족 요건

This course does not satisfy any prerequisites.

학점

미보고

개설 시기

미보고

평점
3.67

-0.15% 과거 데이터 대비

수료율
100%

0.83% 과거 데이터 대비

A 비율
50%

-17.57% 과거 데이터 대비

학급 규모
24

57.38% 과거 데이터 대비

Cumulative Grade Distribution

강사 (2026 Summr)

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