INTRODUCTION TO MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS
ECE 542
과목 설명
Introduction to MEMS technology, devices and systems. Fundamentals of MEMS in fabrication, process integration, material mechanics of MEMS structures, sensors and actuators. Main topics in MEMS - microfluidics, optical MEMS, RF MEMS, BioMEMS, packaging, and CAD.
선수과목
충족 요건
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